プロセス・ケモメトリクス−操業データに基づく品質・歩留りの改善−

加納 学(京都大学)

統計的手法を活用したプロセス解析技術をプロセス・ケモメトリクスと呼ぶことにする．これまで化学プロセスでは，ソフトセンサー開発や多変量統計的プロセス管理などにプロセス・ケモメトリクスが利用されてきた．本報では，それら古典的な適用例を簡潔に紹介すると共に，製品品質や歩留りの改善にプロセス・ケモメトリクスを活用する最近の試みについて述べる．